Isotopisch Angereicherte Boronhaltige Verbindungen sowie Verfahren zu Ihrer Herstellung und Verwendung

EP2606004 Art B1 23. September 2015

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2606004
Aktenzeichen
EP11818672
Anmeldetag
16. August 2011
Veröffentlichung
23. September 2015
Erteilung
23. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C01B35/06C01B9/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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