Pseudosubstrat zur Verwendung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Verfahren zur Herstellung eines Pseudosubstrates

EP2606507 Art A1 26. Juni 2013

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2606507
Aktenzeichen
EP11758378
Anmeldetag
10. August 2011
Veröffentlichung
26. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/203
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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