Verfahren zum Bilden einer Gassperrschicht

EP2607516 Art B1 25. September 2019

Anmelder: Korea University Research and Business Foundation, Sejong Campus, Korea University Research And Business Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2607516
Aktenzeichen
EP11818360
Anmeldetag
12. August 2011
Veröffentlichung
25. September 2019
Erteilung
25. September 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/20C23C14/56C23C16/54C23C14/34H01J37/34H01J37/32G21K1/14H01L21/02H01L51/52H05B33/04H05H3/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Korea University Research and Business Foundation, Sejong Campus
Korea University Research And Business Foundation
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea University Research and Business Foundation

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Freeman, Avi Harrow, Großbritannien
698
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
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Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Medizintechnik & Gesundheit
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