Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Einkristalls

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2607525

Aktenzeichen

EP12196076

Anmeldetag

7. Dezember 2012

Veröffentlichung

13. August 2014

Erteilung

13. August 2014

Rechtsraum

EP

IPC

C30B13/20C30B13/30

Abstract

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Einkristalls durch Zonenziehen, wobei der Einkristall mit Unterstützung einer Induktionsheizspule unter einer Schmelzenzone an einer Kristallisationsgrenze kristallisiert, und das Abstrahlen von Kristallisationswärme durch einen den Einkristall umgebenden Reflektor behindert wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Einkristall im Bereich eines äußeren Rands der Kristallisationsgrenze mittels einer Heizeinrichtung in einer ersten Zone erhitzt wird, wobei ein Abstand ” zwischen einem äußeren Tripelpunkt T a am äußeren Rand der Kristallisationsgrenze und einem Zentrum Z der Kristallisationsgrenze beeinflusst wird.

Anmelder

Firma

Siltronic AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete