Gerät und Verfahren zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung im Terahertzbereich

EP2607945 Art B1 11. Januar 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., OSAKA UNIVERSITY, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2607945
Aktenzeichen: EP12184055
Anmeldetag: 12. September 2012
Veröffentlichung: 11. Januar 2017
Erteilung: 11. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/015H01Q1/00// G02F1/01G01N21/63G01N21/64G01N21/95G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
OSAKA UNIVERSITY
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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