Flachmaterial Herstellung mit Messung der Wirbelstromdicke

EP2609235 Art A1 3. Juli 2013

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2609235
Aktenzeichen: EP11746061
Anmeldetag: 18. Juli 2011
Veröffentlichung: 3. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C30B11/00C30B15/20C30B35/00C30B15/00C30B29/06B22D11/12B22D11/14G01B7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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