Verfahren zur Herstellung einer nicht-flüchtigen Speicherzelle mit Doppel-Gate
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2613342
- Aktenzeichen
- EP13150308
- Anmeldetag
- 4. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 20. November 2019
- Erteilung
- 20. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28H01L29/423H01L29/66H01L29/792H01L29/78// H01L27/115
Abstract
The method involves depositing a polycrystalline silicon layer so as to cover a stack of layers, and etching the layer to form a pattern (144) that is juxtaposed to a relief (132) in a semiconductor material of a gate (130) of a control transistor. A control gate (140) of a memory transistor is formed by forming another polycrystalline silicon layer on the pattern and by etching the latter layer so as to form another pattern (146) on the former pattern. The latter pattern is provided with a flat upper face to allow a resumption of a contact on the control gate of the memory transistor. An independent claim is also included for a double-gate non-volatile memory cell.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
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