Verfahren zur Herstellung einer nichtflüchtigen Speicherzelle mit Doppel-Gate
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2613343
- Aktenzeichen
- EP13150310
- Anmeldetag
- 4. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 28. August 2019
- Erteilung
- 28. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28H01L29/423H01L29/66H01L29/792// H01L27/115
Abstract
The method involves performing chemical mechanical polishing (CMP) so as to remove a top portion of a relief region of a gate (130) of a control transistor of a double-gate non-volatile memory cell (100), a semiconductor layer and a portion of another semiconductor layer. The former semiconductor layer remaining on both sides of the relief region is removed. The to-be-removed latter semiconductor layer is etched, so that the latter semiconductor layer remains above the relief region and forms a pattern on the relief region. An independent claim is also included for a double-gate non-volatile memory cell.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
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