Verfahren und Vorrichtung zur Dekontaminierung eines Filmüberzogenen Fadenkreuzes

EP2614407 Art A1 17. Juli 2013

Anmelder: Pfeiffer Vacuum, Adixen Vacuum Products 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2614407
Aktenzeichen
EP11764121
Anmeldetag
6. September 2011
Veröffentlichung
17. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/64G03F7/20G03F1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Pfeiffer Vacuum
Adixen Vacuum Products
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Kanzlei
Innovincia Thonon-les-Bains, Frankreich

Innovincia wurde 2006 von Thomas Croonenbroek in Thonon-les-Bains gegründet, seit 2020 Teil der Kanzleigruppe LLR mit zweitem Büro in Annecy. Begleitet Mandanten von der Anmeldung bis zur Durchsetzung in Europa, den USA und Asien, mit Freedom-to-Operate-Analysen und Portfoliobewertungen.

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