Optisches Abbildungssystem

EP2616865 Art B1 29. Juni 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2616865
Aktenzeichen: EP11763883
Anmeldetag: 13. September 2011
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Erteilung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/08G02B17/06G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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