Magnetfeldgenerator, Magnetron-Kathode und Sputtervorrichtung

EP2617863 Art A1 24. Juli 2013

Anmelder: Shincron Co., Ltd., University of Science and Technology of China 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2617863
Aktenzeichen: EP11810778
Anmeldetag: 30. August 2011
Veröffentlichung: 24. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35C03C17/245C23C14/34H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shincron Co., Ltd.
University of Science and Technology of China
Land: 🇯🇵 Japan

🇨🇳 University of Science and Technology of China

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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