Optische Spiegel-Baugruppe zur Strahlführung sowie Spiegel-Temperiervorrichtung mit einer derartigen Spiegel-Baugruppe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2620795

Aktenzeichen

EP12196128

Anmeldetag

7. Dezember 2012

Veröffentlichung

26. Juni 2019

Erteilung

26. Juni 2019

Rechtsraum

EP

IPC

G02B7/18

Abstract

Eine optische Spiegel-Baugruppe (2) zur Strahlführung hat einen Spiegel-Grundkörper (6), der eine Reflexionsfläche (5) trägt. Der Spiegel-Grundkörper (6) hat unterhalb der Reflexionsfläche (5) zumindest abschnittsweise einen Festkörperschaumbereich (9, 10). Dieser steht mit der Reflexionsfläche (5) in wärmeleitender Verbindung. Der Festkörperschaumbereich (9, 10) ist über mindestens einen Fluidanschluss (14 bis 17) mit einer Fluidquelle (4) verbindbar. Letztere steht über mindestens einen Fluidkanal (27, 29; 32, 33; 36, 37) in Fluidverbindung mit dem Festkörperschaumbereich (9, 10) zur Erzeugung eines Fluidstroms mindestens eines Wärmeträgerfluids durch den Festkörperschaumbereich (9, 10). Der Festkörperschaumbereich (9, 10) ist in mindestens zwei Festkörperschaum-Unterbereiche (9, 10) unterteilt. Zwischen diesen ist ein Grenzbereich (11) zur Minimierung oder Verhinderung eines Wärmeleitungs-Übergangs zwischen benachbarten Festkörperschaum-Unterbereichen (9, 10) angeordnet. Es resultiert eine Spiegel-Baugruppe, bei der ein Temperaturniveau einer Reflexionsfläche bzw. des Spiegel-Grundkörpers und/oder ein Temperaturgradient, der über die Reflexionsfläche bzw. des Spiegel-Grundkörpers vorhanden ist, an anspruchsvolle Vorgaben angepasst werden kann.

Anmelder

Firma

Carl Zeiss SMT GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete