Kompakte Hf-Antenne für eine Induktiv Gekoppelte Plasmaionenquelle
EP2622625
Art B1
20. April 2016
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2622625
- Aktenzeichen
- EP11829993
- Anmeldetag
- 30. September 2011
- Veröffentlichung
- 20. April 2016
- Erteilung
- 20. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08H01J27/16H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte