Vorrichtung zum Bearbeiten eines Substrats und Verfahren hierzu
EP2624291
Art B1
13. Oktober 2021
Anmelder: Obducat Europe GmbH, Solar-Semi GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2624291
- Aktenzeichen
- EP12195511
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2021
- Erteilung
- 13. Oktober 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683
Abstract
Bei einer Vorrichtung zum Bearbeiten, insbesondere Ätzen und oder Entwickeln von Substraten (17), insbesondere Wafern, insbesondere Ätzen und oder Entwickeln, mit einem Drehteller (1) soll der Drehteller (1) einen Venturi-Spalt (3) aufweisen.
Anmelder
- Firmen
- Obducat Europe GmbH
Solar-Semi GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Weiss, Peter
Engen, Deutschland
583
Patente gesamt
34
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Patentanwälte und Rechtsanwalt Weiß, Arat & Partner mbB
Patentanwälte und Rechtsanwalt Weiß, Arat & Partner mbB · Engen