Integrierte Schaltung und Herstellungsverfahren
Anmelder: ams International AG, ams international AG, NXP B.V. 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2629084
- Aktenzeichen
- EP12156028
- Anmeldetag
- 17. Februar 2012
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2018
- Erteilung
- 2. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N25/18H01L23/58H01L27/00B81C1/00
Abstract
Disclosed is an integrated circuit comprising a substrate (10) including semiconductor devices and a metallization stack (20) over said substrate for interconnecting said devices, the metallization stack comprising a cavity (36), and a thermal conductivity sensor comprising at least one conductive portion (16, 18) of said metallization stack suspended in said cavity. A method of manufacturing such an IC is also disclosed.
Anmelder
- Firmen
- ams International AG
ams international AG
NXP B.V. - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Ams International ist die schweizerische Konzerneinheit von ams OSRAM, einem Hersteller von Sensoren und optischen Halbleiterkomponenten. Der Anmelder konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Elektronik, Nachrichtentechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2009 bis in die Gegenwart.
359 Patente in unserer Datenbank
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
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