Prüfvorrichtung und Prüfverfahren

EP2631635 Art B1 19. Oktober 2016

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., OSAKA UNIVERSITY, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2631635
Aktenzeichen: EP13153055
Anmeldetag: 29. Januar 2013
Veröffentlichung: 19. Oktober 2016
Erteilung: 19. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/95G01R31/26H02S50/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
OSAKA UNIVERSITY
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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