Lithographieverfahren und -Vorrichtung
EP2633368
Art A1
4. September 2013
Anmelder: National University of Singapore 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2633368
- Aktenzeichen
- EP11836742
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 4. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01J3/00G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National University of Singapore
- Land
- 🇸🇬 Singapur
🇸🇬
National University of Singapore
Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.
1.152 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Talbot-Ponsonby, Daniel Frederick
Oxford, Großbritannien
1.039
Patente gesamt
32
Fachgebiete
24
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Marks & Clerk LLP
Marks & Clerk LLP · Luxembourg