Virusnachweisvorrichtung und Virusnachweisverfahren

EP2634580 Art B1 29. April 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2634580
Aktenzeichen: EP11835789
Anmeldetag: 14. Oktober 2011
Veröffentlichung: 29. April 2015
Erteilung: 29. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G01N33/569G01N15/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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