Frequenzumwandlungssystem mit Hoher Schadensschwelle

EP2638605 Art B1 27. Februar 2019

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2638605
Aktenzeichen
EP11839165
Anmeldetag
13. November 2011
Veröffentlichung
27. Februar 2019
Erteilung
27. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/13G02F1/35G02B5/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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