Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Verfahren zur Messung der Aberration von Linsen

EP2639814 Art B1 21. Juni 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2639814
Aktenzeichen: EP11839872
Anmeldetag: 4. November 2011
Veröffentlichung: 21. Juni 2017
Erteilung: 21. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153H01J37/244H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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