Verfahren und Vorrichtung zum aktiven Überwachen einer induktiv gekoppelten Plasmaionenquelle mit einem optischen Spektrometer
EP2642507
Art A3
2. September 2015
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2642507
- Aktenzeichen
- EP13159842
- Anmeldetag
- 19. März 2013
- Veröffentlichung
- 2. September 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08H01J37/304H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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