Zusammensetzung zum Bilden von ferroelektrischem Dünnfilm, Verfahren zum Bilden von ferroelektrischem Dünnfilm, ferroelektrischer Dünnfilm und komplexe elektronische Komponente

EP2642510 Art A3 5. März 2014

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2642510
Aktenzeichen
EP12193742
Anmeldetag
22. November 2012
Veröffentlichung
5. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/316C09D5/00H01L49/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Materials Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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