Verfahren zur Verarbeitung eines Substrats

EP2642512 Art A3 19. März 2014

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2642512
Aktenzeichen: EP13172459
Anmeldetag: 8. April 2010
Veröffentlichung: 19. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/266H01L31/18H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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