Gruppe-2-Imidazolat-Formulierungen für direkte Flüssigkeitseinspritzung
EP2644284
Art B1
3. Juni 2015
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2644284
- Aktenzeichen
- EP13161953
- Anmeldetag
- 2. April 2013
- Veröffentlichung
- 3. Juni 2015
- Erteilung
- 3. Juni 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B05D5/12C07F3/00C07F3/02C07F3/04C23C4/10H01L21/288C23C16/18C09D5/24C23C16/34C23C16/40C23C16/455H01L21/02
Abstract
A composition comprising group 2 imidazolate compounds which are coordinated to suitable neutral donor ligand molecules to provide group 2 metal complexes that are highly soluble in hydrocarbon solvents. In one embodiment, the composition is used for the direct liquid injection delivery of the group 2 precursor to the chamber of an ALD or CVD chamber for the deposition of group 2 containing thin films such as, for example, STO and BST films.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
1.683 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hatt, Anna Louise
London, Großbritannien
113
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Beck Greener LLP
Beck Greener LLP · London
-
Beck Greener
Beck Greener · London