Vorrichtung, Programm und Verfahren zur Drucksteuerung
EP2645227
Art B1
19. Dezember 2018
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2645227
- Aktenzeichen
- EP13156750
- Anmeldetag
- 26. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 19. Dezember 2018
- Erteilung
- 19. Dezember 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F3/12G06K15/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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