Vorrichtung, Programm und Verfahren zur Drucksteuerung

EP2645227 Art B1 19. Dezember 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2645227
Aktenzeichen
EP13156750
Anmeldetag
26. Februar 2013
Veröffentlichung
19. Dezember 2018
Erteilung
19. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G06F3/12G06K15/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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