Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Dünnschicht

EP2645403 Art A3 5. März 2014

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2645403
Aktenzeichen: EP13160992
Anmeldetag: 26. März 2013
Veröffentlichung: 5. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/316B05B5/025B05B5/16B05B5/04C23C18/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von