Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Dünnschicht auf PZT-Basis

EP2645441 Art B1 14. Dezember 2016

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2645441
Aktenzeichen: EP13161001
Anmeldetag: 26. März 2013
Veröffentlichung: 14. Dezember 2016
Erteilung: 14. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L45/00C23C18/12G02F1/055H01G4/12H01L29/78H01L37/02H01L41/09H01L41/187H01L41/318H02N2/00H03H9/02H01G7/06H01G4/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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