Verfahren zum Behandeln von Wafern und Mikroplättchen

EP2647043 Art B1 14. April 2021

Anmelder: Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd., Thin Materials AG 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2647043
Aktenzeichen: EP11788538
Anmeldetag: 30. November 2011
Veröffentlichung: 14. April 2021
Erteilung: 14. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Thin Materials AG
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von