Vorrichtung aus mehreren Geladenen Teilchenstrahlen mit einer Mehrachsigen Magnetischen Linse
EP2652486
Art B1
29. April 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Hermes-Microvision, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2652486
- Aktenzeichen
- EP11849196
- Anmeldetag
- 16. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 29. April 2020
- Erteilung
- 29. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/225H01J37/141
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Hermes-Microvision, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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Karakatsanis, Georgios
Haft Karakatsanis Patent Law Office · Regen