Überwachungsverfahren für die Konzentration an Gelöstem Stickstoff und Substratreinigungsverfahren
EP2656064
Art B1
22. Oktober 2014
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2656064
- Aktenzeichen
- EP11805808
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2014
- Erteilung
- 22. Oktober 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N33/18H01L21/02B08B3/12H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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