Lithographiesystem, Klemmverfahren und Wafertisch
EP2660655
Art B1
1. April 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V., MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2660655
- Aktenzeichen
- EP13179130
- Anmeldetag
- 11. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 1. April 2020
- Erteilung
- 1. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/67H01J37/317H01J37/20H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven