Mikroskop mit Geladenen Teilchenstrahlen und einem Darauf Angebrachten Diffraktionsaberrationskorrektor

EP2660844 Art A1 6. November 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2660844
Aktenzeichen: EP11854105
Anmeldetag: 26. Dezember 2011
Veröffentlichung: 6. November 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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