Chemisch-mechanische Polierzusammensetzung mit chemischen Zusatzstoffen und Verfahren zur Verwendung davon

EP2662427 Art B1 14. März 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2662427
Aktenzeichen
EP13167334
Anmeldetag
10. Mai 2013
Veröffentlichung
14. März 2018
Erteilung
14. März 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Hatt, Anna Louise London, Großbritannien
113
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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