Verbesserte Bearbeitung und Abbildung mittels Ionenstrahl einer Plasmaionenquelle
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2669925
- Aktenzeichen
- EP13169946
- Anmeldetag
- 31. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 26. August 2020
- Erteilung
- 26. August 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/02H01J37/16H01J37/18H01J37/08
Abstract
Applicants have found that energetic neutral particles created by a charged exchange interaction between high energy ions and neutral gas molecules reach the sample in a ion beam system (299) using a plasma source (202, 201). The energetic neutral create secondary electrons away from the beam impact point. Methods to solve the problem include differentially pumped chambers (206, 210, 214) below the plasma source (202) to reduce the opportunity for the ions to interact with gas.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
882 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven