Verfahren zur axialen Ausrichtung eines Ladungsträgerstrahls und Ladungsträgerstrahlsystem

EP2669926 Art B1 5. Juli 2017

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2669926
Aktenzeichen: EP13275130
Anmeldetag: 31. Mai 2013
Veröffentlichung: 5. Juli 2017
Erteilung: 5. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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