Inspektionssystem zur Verwendung mit Rasterelektronenmikroskop
Anmelder: Samsung Display Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2669927
- Aktenzeichen
- EP13169847
- Anmeldetag
- 30. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 12. August 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/18H01J37/20H01J37/28
Abstract
An inspection system using a scanning electron microscope includes a scanning electron microscope chamber (100) inspecting an object (10) to be inspected by using an electron beam (1) and maintaining a vacuum condition, a stage (200) positioned below the scanning electron microscope chamber to be separated therefrom and mounted with the object to be inspected, and a transverse guide (300) transferring the scanning electron microscope chamber on the stage. Atmospheric conditions are maintained between the scanning electron microscope chamber and the object to be inspected. Accordingly, object to be inspected a large size of an object to be inspected may be inspected without damage to the object to be inspected such that a cost reduction and a yield improvement may be realized.
Anmelder
- Firma
- Samsung Display Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
Südkoreanisches Tochterunternehmen der Samsung-Gruppe, das Displaypanels wie OLED- und LCD-Bildschirme für Smartphones, Fernseher und weitere Elektronikgeräte entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
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