Vorrichtung zum Messen von Prozessbedingungen und Verfahren zum Messen von Prozessbedingungen in einem für die Verarbeitung von Produktionswerkstücken Konfigurierten Werkzeug

EP2671246 Art B1 4. März 2020

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

492

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Weitere Vertreter