Fokussierte Ladungsteilchensäule zum Betrieb mit unterschiedlichen Strahlenenergien an einem Ziel

EP2672501 Art A1 11. Dezember 2013

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2672501
Aktenzeichen
EP12171907
Anmeldetag
14. Juni 2012
Veröffentlichung
11. Dezember 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/12H01J37/28H01J37/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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