Verfahren zur axialen Ausrichtung eines Ladungsträgerstrahls und Ladungsträgerstrahlsystem

EP2672503 Art A3 26. August 2015

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2672503
Aktenzeichen: EP13170438
Anmeldetag: 4. Juni 2013
Veröffentlichung: 26. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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