Elektronenmikroskop und Verfahren zum Einstellen davon

EP2674960 Art B1 20. April 2016

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2674960
Aktenzeichen: EP13171746
Anmeldetag: 12. Juni 2013
Veröffentlichung: 20. April 2016
Erteilung: 20. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/28H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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