Elektronenmikroskop und Verfahren zu dessen Betrieb

EP2674961 Art B1 9. März 2016

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2674961
Aktenzeichen: EP13171744
Anmeldetag: 12. Juni 2013
Veröffentlichung: 9. März 2016
Erteilung: 9. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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