Verfahren zur Züchtung von Nanostrukturen in eingelassenen Strukturen
EP2674996
Art A1
18. Dezember 2013
Anmelder: IMEC VZW, Imec VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2674996
- Aktenzeichen
- EP12172125
- Anmeldetag
- 15. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L51/00H01L51/05B82Y10/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
Imec VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Ego, Christophe
Boortmeerbeek, Belgien
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