Verfahren zur Verlängerung der Ionenquellenlebensdauer und Verbesserung der Ionenquellenleistung während einer Carbonimplantation
EP2677057
Art A1
25. Dezember 2013
Anmelder: Praxair Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2677057
- Aktenzeichen
- EP13171650
- Anmeldetag
- 12. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 25. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/48C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Praxair Technology, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Praxair Technology
US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.
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