Breitband Interferometer zur Bestimmung einer Eigenschaft einer Dünnschicht

EP2677271 Art B1 26. April 2017

Anmelder: Mitutoyo Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2677271
Aktenzeichen: EP13167065
Anmeldetag: 8. Mai 2013
Veröffentlichung: 26. April 2017
Erteilung: 26. April 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01B11/06G01N21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitutoyo Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitutoyo Corporation

Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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