Kapazitiver Kraftsensor und Herstellungsverfahren
Anmelder: Technische Universität München 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2677291
- Aktenzeichen
- EP12172602
- Anmeldetag
- 19. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 20. September 2017
- Erteilung
- 20. September 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F3/041G01L1/14G06F3/044
Abstract
A capacitive force sensor is manufactured by providing a capacitor plate, spacer elements and at least one electrically conductive pad element on a substrate and soldering a cap element to said conductive pad element so that a capacitor gap of defined dimensions is formed between the cap element and the capacitor plate. The capacitive force sensor may be formed solely by relying on conventional semiconductor fabrication techniques, and hence can be mass produced in high numbers and at high accuracy and low costs.
Anmelder
- Firma
- Technische Universität München
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsche technische Universität mit Sitz in München, betreibt Forschung und Lehre in Ingenieur-, Natur- und Lebenswissenschaften sowie Medizin.
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Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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