Risikobewertung einer Vorrichtung auf Entwurfsbasis

EP2678880 Art A2 1. Januar 2014

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2678880
Aktenzeichen
EP12749801
Anmeldetag
20. Februar 2012
Veröffentlichung
1. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/66G01N21/88G01N21/956G05B19/418
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen