Inspektionsvorrichtung und Prüfungsverfahren

EP2679987 Art A1 1. Januar 2014

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Osaka University, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2679987
Aktenzeichen: EP13167658
Anmeldetag: 14. Mai 2013
Veröffentlichung: 1. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/95G01N21/956G01N21/3586

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Osaka University
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von