Wärmebehandlungsvorrichtung für Keramische Materialien für Optische Zwecke, Wärmebehandlungsverfahren für Keramische Materialien für Optische Zwecke, Verfahren zur Herstellung eines Optischen Systems und einer Belichtungsvorrichtung
EP2682373
Art B1
1. Mai 2019
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2682373
- Aktenzeichen
- EP12752504
- Anmeldetag
- 2. März 2012
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2019
- Erteilung
- 1. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03B20/00C03B32/00G02B1/02H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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