Verfahren zum Speichern eines Metalllanthan-Targets, Vakuumversiegeltes Metalllanthan-Target und durch Sputtering Mithilfe des Metalllanthan-Targets Geformte Dünnschicht
EP2682497
Art A1
8. Januar 2014
Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2682497
- Aktenzeichen
- EP12751723
- Anmeldetag
- 13. Februar 2012
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34H01L21/316B65B5/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- JX Nippon Mining & Metals Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JX Nippon Mining & Metals
JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.
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Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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