Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Folienformen

EP2682712 Art A1 8. Januar 2014

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2682712
Aktenzeichen: EP11859710
Anmeldetag: 28. September 2011
Veröffentlichung: 8. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/24G01N21/21H01L31/04G01B11/06G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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